產品名稱

元素符號

純度

形狀

氧化鈦

TiOx

3N,3N5,4N

平面靶，旋轉靶

氧化鈮

Nb2Ox

4N

平面靶，旋轉靶

氧化鋯

ZrO2

4N

平面靶，旋轉靶

氧化鋅鋁

AZO

3N5,4N

平面靶，旋轉靶

氧化鋅錫

TZO

3N,3N8

平面靶，旋轉靶

氧化錫銻

ATO

3N,3N8

平面靶，旋轉靶

氧化銦錫

ITO

4N

平面靶，旋轉靶

氧化鋁

Al2O3

3N,4N,5N

平面靶，臺階靶

氧化鋅

ZnO

3N,4N

平面靶，旋轉靶

氧化鐵

Fe2O3

3N,4N,5N

平面靶，臺階靶

氧化鎂

MgO

3N,4N

平面靶，旋轉靶

氧化鉛

PbO

3N,4N

平面靶，臺階靶

氧化釓

Gd2O3

3N,4N

平面靶，臺階靶

三氧化鎢

WO3

3N,4N

面靶，顆粒

氧化銦鎵鋅

IGZO

3N,4N

平面靶，旋轉靶

氧化鋅鎵

GZO

3N,4N

平面靶，旋轉靶

硫化鋅

ZnS

3N,4N

平面靶，顆粒

硫化鎘

CdS

3N,4N

平面靶，旋轉靶

硫化鉬

MoS2

3N,4N

平面靶，旋轉靶

硫化鎢

WS2

3N5

平面靶，旋轉靶

二氧化硅

SiO2

4N,5N

平面靶，顆粒

一氧化硅

SiO

4N,5N

平面靶，顆粒

五氧化二鉭

Ta2O5

3N,3N5,4N

平面靶，顆粒

氟化鋇

BaF2

3N,3N5

平面靶，顆粒

氟化鍶

SrF2

3N,3N5

平面靶，顆粒

氟化錳

MnF2

3N,3N5

平面靶，顆粒

氮化鈦

TiN

3N,3N5

平面靶，顆粒

氮化硅

SiN

3N,4N

平面靶，顆粒

氮化硼

BN

2N5,3N

平面靶，旋轉靶

碳化硼

B4C

3N,4N

平面靶，旋轉靶

碳化硅

SiC

3N,4N

平面靶，旋轉靶

碳化鎢

WC

3N,4N

平面靶，旋轉靶

碳化鈦

TiC

2N5,3N

平面靶，旋轉靶

碳酸鋰

Li2CO3

3N,4N

平面靶，顆粒

鉭酸鋰

LiO3Ta

3N,4N

平面靶，顆粒

磷酸鋰

Li3PO4

3N,4N

平面靶，顆粒

鈦酸鋰

Li4Ti5O12

3N,4N

平面靶，顆粒

本公司目前生產的陶瓷靶材包括但不局限于以上產品。